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PELCO LatticeAx 420 晶圆划片切割机
LatticeAx 420晶圆划片切割机
高度压痕和切割系统
LatticeAx ® 420 是 LatticeGear 蕞高性能的切割解决方案。 LatticeAx ® 420 在 <5 分钟内提供 10-μm 的蕞高切割，使其成为重视速度和高度同时需要适应各种样品尺寸、厚度和材料的实验室的理想选择。LatticeAx 底座与完整的视觉包集成在一起，其中包括一个具有 4 微米光学分辨率的单目显微镜、彩色 CCD 摄像头和实时图像采集和显示软件，以及一个 XY 平台。这款用切割工作站的设计使用户都可以使用它来测量、对齐、微压痕、切割和检查处理过的样品。
优势
- 高度定位微线压痕，在单个工具中实现高质量切割
- 快速样品处理提高实验室生产力
- 减少昂贵、高要求的样品制备工具的瓶颈
- 入门成本低，无服务成本
- 切割各种材料和样品尺寸
- 使用简单，符合人体工程学的设计，占地面积小
特征
- LatticeAx 120 基础工具的所有功能
- 目标的高度定位 (±10 µm)
- LatticeGear 定制：占地面积小，工业平台
- 带有粗调和细调焦控制的调焦座
- 带彩色 CCD 相机的单目、齐焦、变焦镜头 (.58-7x mag)*
- 步长为 5 µm 的压痕位置控制
- 抛光尖金刚石压头
- 5 分钟处理样品设置
- 用于切割时钟刻度盘，以进行压痕校准
*不包括电脑和显示器
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